3月25日至27日，全球半導體行業(yè)盛會Semicon China 2026在上海舉行。四方儀器基于20余年深厚的氣體監(jiān)測技術積淀，針對半導體制造關鍵工藝痛點，正式推出三大核心氣體監(jiān)測解決方案，并與現(xiàn)場觀眾及同行深入探討了氣體監(jiān)測在提升良率、降低成本中的應用價值。

CVD腔室清洗終點檢測

在CVD沉積后的腔室清洗工藝中，傳統(tǒng)定時清洗模式存在清洗不徹底或過度清洗的問題，不僅浪費昂貴的清洗氣體，還影響設備利用率和工藝良率。

采用四方儀器Gasboard-2060系列紅外氣體傳感器，實時監(jiān)測SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體的濃度變化，精準判斷清洗終點。相比傳統(tǒng)定時清洗，可有效減少清洗氣體用量、縮短清洗時間，提升設備利用率和工藝良率。

核心優(yōu)勢：

• 零點漂移低，重復性好，確保每次清洗終點一致

• 1ppm低檢測下限，減少腔室清潔時間

• 真空密封性好，減少清潔氣體的使用

• 傳感器精度高，噪聲低，壽命長

微量氧監(jiān)測

在擴散爐、退火爐、RTP、CVD等高溫工藝中，微量氧氣會導致晶圓氧化、摻雜不均，嚴重影響器件性能。在回流焊、真空共晶等封裝環(huán)節(jié)，氧含量控制同樣直接決定焊接質(zhì)量。

四方儀器Gasboard-3050系列微量氧分析儀，基于氧化鋯傳感器技術，提供兩類產(chǎn)品選擇：

（1）Gasboard-3052（探頭式）：采用遠程原位傳感器設計，特別適用于需持續(xù)監(jiān)測氧濃度的場景，如半導體設備、手套箱、氮氣管線、真空腔體及其他低氧/無氧環(huán)境。傳感器可直接通過真空接頭安裝于真空腔體，廣泛用于半導體制造、OLED生產(chǎn)、3D打印等使用惰性氣體的工業(yè)場景。

核心優(yōu)勢：

• ppm級別測量，精度高

• 響應速度快，秒級出數(shù)

• 產(chǎn)品穩(wěn)定性好，無需定期校準

• 緊湊型模塊化設計，體積小，安裝方便

（2）Gasboard-3053（抽取式）：采用抽取集成式設計，整合了寬量程氧化鋯傳感器、前處理單元和采樣泵，適用于除真空腔體外的多種應用場景，如SMT工藝中的回流焊爐、擴散爐、退火爐、干燥爐等。

核心優(yōu)勢：

• 即插即用一體化設計

• 抗干擾能力強

• 內(nèi)置采樣泵與過濾系統(tǒng)，安裝維護便捷

• 本地化端到端服務保障

MOCVD前驅(qū)體氣體監(jiān)測

金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）是制備Ⅲ-V族化合物半導體（如氮化鎵GaN）的核心工藝，前驅(qū)體（MO源）濃度的穩(wěn)定性直接影響外延層質(zhì)量。傳統(tǒng)流量控制難以消除鼓泡器溫度波動、液位變化等帶來的濃度偏差。為實現(xiàn)工藝優(yōu)化，需對前驅(qū)體濃度進行實時監(jiān)測，并通過反饋調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，形成閉環(huán)控制。

四方儀器紅外氣體傳感器（MOCVD），直接監(jiān)測前驅(qū)體氣體濃度，為MOCVD工藝提供精確的濃度反饋，助力實現(xiàn)閉環(huán)控制。

核心優(yōu)勢：

• 零點漂移低，重復性好

• 1ppm低檢測下限

• 真空密封性好

• 采用316L耐腐蝕材料，腔室組件的使用壽命更長

多年技術積淀，以可靠性能贏得行業(yè)關注

在氣體分析領域，四方儀器擁有超過20年的工業(yè)級應用經(jīng)驗，我們的紅外（NDIR）、激光（TDLAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）等技術已在化工、冶金、油氣等苛刻工業(yè)場景中得到長期驗證，產(chǎn)品以高精度、快速響應、抗干擾、長壽命等優(yōu)勢，贏得了眾多行業(yè)頭部客戶的長期信賴。

正是這種在高溫、高壓、強腐蝕性環(huán)境下積累出的“實戰(zhàn)基因”，讓我們對半導體工藝中潔凈度、穩(wěn)定性的極致追求有了更深刻的理解。從傳感器到分析儀器，我們提供的不只是產(chǎn)品，更是經(jīng)過千錘百煉的可靠監(jiān)測能力，在多種工藝環(huán)境中為客戶提供從設備選型到系統(tǒng)集成的全方位支持。

展會期間，四方儀器的展品吸引了眾多設備工程師、工藝專家駐足交流。其中，CVD清洗終點檢測方案因其在節(jié)省氣體、提升效率方面的顯著價值，成為關注焦點；微量氧分析儀在真空腔體和回流焊爐中的應用方案吸引了封裝廠商的熱烈討論；MOCVD前驅(qū)體監(jiān)測方案的國產(chǎn)化突破則獲得了化合物半導體領域客戶的充分肯定。

深耕行業(yè)，以精準測量助力中國“芯”發(fā)展

展會雖已落幕，但四方儀器在半導體行業(yè)的探索將持續(xù)深入。我們致力于將成熟的氣體監(jiān)測技術與半導體工藝需求深度融合，為行業(yè)客戶提供更精準、更可靠的解決方案。

上述解決方案均已形成詳細的技術資料，如您對某項方案感興趣，或希望探討具體工藝點的監(jiān)測需求，歡迎與我們聯(lián)系，我們將第一時間助您攻克氣體監(jiān)測難題。